Предварительный расчет полупроводникового диффузионного резистора

На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:

Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;

Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;

Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).

После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:

где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

0,0

1,00000

1,0

0,15730

2,0

0,00468

3,0

0,00002209

0,1

0,88754

1,1

0,11980

2,1

0,00298

3,1

0,00001165

0,2

0,77730

1,2

0,08969

2,2

0,00186

3,2

0,00000603

0,3

0,67137

1,3

0,06599

2,3

0,00114

3,3

0,00000306

0,4

0,57161

1,4

0,04772

2,4

0,00069

3,4

0,00000152

0,5

0,47950

1,5

0,03390

2,5

0,00041

3,5

0,000000743

0,6

0,39614

1,6

0,02365

2,6

0,00024

3,6

0,000000356

0,7

0,32220

1,7

0,01621

2,7

0,00013

3,7

0,000000167

0,8

0,25790

1,8

0,01091

2,8

0,00008

3,8

0,000000077

0,9

0,20309

1,9

0,00721

2,9

0,00004

3,9

0,000000035

Перейти на страницу: 1 2

Читайте также

Проектирование устройства для измерения статических характеристик электромагнитного двигателя
Ветер - это горизонтальное перемещение, поток воздуха параллельно земной поверхности, возникающее в результате неравномерного распределения тепла и атмосферного давления и направленное и ...

Назначение и виды ударно-контактных извещателей
Извещатели ударно-контактные формируют тревожное извещение при нормированном ударном воздействии на контролируемую поверхность охраняемого объекта. Они предназначены для обнаружения раз ...

Проектирование цифрового устройства для реализации типовых микроопераций
Разработать функциональную и принципиальную схему операционного устройства исходя из основных параметров по вариантам. Также требуется предоставить блок схемы алгоритмов выполнения опе ...

Основные разделы

Все права защищены! (с)2025 - www.generallytech.ru