На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:
Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;
Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;
Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).
После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:
где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:
n |
erfc n |
n |
erfc n |
n |
erfc n |
n |
erfc n |
0,0 |
1,00000 |
1,0 |
0,15730 |
2,0 |
0,00468 |
3,0 |
0,00002209 |
0,1 |
0,88754 |
1,1 |
0,11980 |
2,1 |
0,00298 |
3,1 |
0,00001165 |
0,2 |
0,77730 |
1,2 |
0,08969 |
2,2 |
0,00186 |
3,2 |
0,00000603 |
0,3 |
0,67137 |
1,3 |
0,06599 |
2,3 |
0,00114 |
3,3 |
0,00000306 |
0,4 |
0,57161 |
1,4 |
0,04772 |
2,4 |
0,00069 |
3,4 |
0,00000152 |
0,5 |
0,47950 |
1,5 |
0,03390 |
2,5 |
0,00041 |
3,5 |
0,000000743 |
0,6 |
0,39614 |
1,6 |
0,02365 |
2,6 |
0,00024 |
3,6 |
0,000000356 |
0,7 |
0,32220 |
1,7 |
0,01621 |
2,7 |
0,00013 |
3,7 |
0,000000167 |
0,8 |
0,25790 |
1,8 |
0,01091 |
2,8 |
0,00008 |
3,8 |
0,000000077 |
0,9 |
0,20309 |
1,9 |
0,00721 |
2,9 |
0,00004 |
3,9 |
0,000000035 |
Читайте также
Подвеска оптического кабеля на опорах
В
настоящее время на ВОЛП-ВЛ применяются следующие типы ОК:
ОКГТ
- оптический кабель, встроенный в грозозащитный трос;
ОКСН
- оптический кабель самонесущий;
ОКНН
- оптический ...
Проект цифрового фильтра
В
последнее время методы цифровой обработки сигналов (ЦОС) в радиотехнике,
системах связи, управления и контроля приобрели большую важность и в
значительной мере заменяют классические а ...
Моделирование радиомаячной системы посадки метрового диапазона с помощью программы Micro-Cap
Функциональные возможности использования авиации во многом
определяются качеством решения задач навигации, в частности, уровнем развития
устройств и систем радионавигации.
Под термино ...