Предварительный расчет полупроводникового диффузионного резистора

На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:

Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;

Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;

Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).

После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:

где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

0,0

1,00000

1,0

0,15730

2,0

0,00468

3,0

0,00002209

0,1

0,88754

1,1

0,11980

2,1

0,00298

3,1

0,00001165

0,2

0,77730

1,2

0,08969

2,2

0,00186

3,2

0,00000603

0,3

0,67137

1,3

0,06599

2,3

0,00114

3,3

0,00000306

0,4

0,57161

1,4

0,04772

2,4

0,00069

3,4

0,00000152

0,5

0,47950

1,5

0,03390

2,5

0,00041

3,5

0,000000743

0,6

0,39614

1,6

0,02365

2,6

0,00024

3,6

0,000000356

0,7

0,32220

1,7

0,01621

2,7

0,00013

3,7

0,000000167

0,8

0,25790

1,8

0,01091

2,8

0,00008

3,8

0,000000077

0,9

0,20309

1,9

0,00721

2,9

0,00004

3,9

0,000000035

Перейти на страницу: 1 2

Читайте также

Подвеска оптического кабеля на опорах
В настоящее время на ВОЛП-ВЛ применяются следующие типы ОК: ОКГТ - оптический кабель, встроенный в грозозащитный трос; ОКСН - оптический кабель самонесущий; ОКНН - оптический ...

Проект цифрового фильтра
В последнее время методы цифровой обработки сигналов (ЦОС) в радиотехнике, системах связи, управления и контроля приобрели большую важность и в значительной мере заменяют классические а ...

Моделирование радиомаячной системы посадки метрового диапазона с помощью программы Micro-Cap
Функциональные возможности использования авиации во многом определяются качеством решения задач навигации, в частности, уровнем развития устройств и систем радионавигации. Под термино ...

Основные разделы

Все права защищены! (с)2024 - www.generallytech.ru