Предварительный расчет полупроводникового диффузионного резистора

На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:

Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;

Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;

Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).

После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:

где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

0,0

1,00000

1,0

0,15730

2,0

0,00468

3,0

0,00002209

0,1

0,88754

1,1

0,11980

2,1

0,00298

3,1

0,00001165

0,2

0,77730

1,2

0,08969

2,2

0,00186

3,2

0,00000603

0,3

0,67137

1,3

0,06599

2,3

0,00114

3,3

0,00000306

0,4

0,57161

1,4

0,04772

2,4

0,00069

3,4

0,00000152

0,5

0,47950

1,5

0,03390

2,5

0,00041

3,5

0,000000743

0,6

0,39614

1,6

0,02365

2,6

0,00024

3,6

0,000000356

0,7

0,32220

1,7

0,01621

2,7

0,00013

3,7

0,000000167

0,8

0,25790

1,8

0,01091

2,8

0,00008

3,8

0,000000077

0,9

0,20309

1,9

0,00721

2,9

0,00004

3,9

0,000000035

Перейти на страницу: 1 2

Читайте также

Проект оконечной ОС на базе системы DX200
Современное состояние и перспективные планы развития Единой Сети Электросвязи (ЕСЭ) Российской Федерации характеризуются широким внедрением цифровых технологий и оборудования цифровых си ...

Проектирование радиорелейной линии связи
Радиорелейная связь - один из видов радиосвязи, образованной цепочкой приёмо-передающих (ретрансляционных) радиостанций. Наземная радиорелейная связь осуществляетс ...

Проектирование двухвходовой КМОП-схемы дешифратора 2 в 4
КМОП (комплементарная логика на транзисторах металл-оксид-полупроводник; англ. CMOS, Complementary-symmetry/metal-oxide semiconductor) - технология построения электронных схем. В те ...

Основные разделы

Все права защищены! (с)2025 - www.generallytech.ru